半导体工业的废气有害吗如何处理？

半导体是指在常温状态导电性能处于电导体与导电体中间的一种原材料，主要应用于集成电路芯片、消费电子产品、通讯系统、太阳能发电、照明灯具、大功率电阻变换等领域，在半导体工业加工的过程中将会出现部分的气体排出，那半导体工业的废气有害吗，如何处理好?

半导体工业生产在加工的过程中需要使用到光刻技术、蚀刻液、清洁剂、显像剂等有机溶剂，而这些溶剂是含有大量有机化合物成份，排出出的废气带有HCl、氨、HF等危险污染物，而关键处理是具有挥发物的VOCs。

• 温馨提醒：VOCs污染物为有机物，在含量比较高并有火苗或静电感应前提下，非常容易产生闪爆状况。

• 半导体在生产流程中一般的污染物包含颗粒物污染物、金属离子和化合物等，而这些都是属于有害的污染物。

• 半导体废气处理办法依据工业废气成份开展废气处理设备的挑选：

• 沸石转轮吸附浓缩装置：主要运用于有机化学废气的整治，尤其适用于大风量，较低浓度的场所;

• 洗涤塔：针对带有酸碱性/碱性物质的废气，半导体厂封闭式生产车间大多数选用大中型立式净化塔开展废气解决。

• TO直燃炉(催化燃烧设备)：对大风量、较低浓度的的VOCs废气，TO直燃炉一般会配搭沸石转轮应用。

半导体工业废气是具有毒副作用的，不同类型的工业生产选用工艺原料不一样，因而所采用的废气处理设备及其加工工艺都是不一样的，实际的解决方案可咨询创清环保的线上技术工程师。