新材料半导体行业的废气应该怎么处理

伴随着科技的进步，目前市面上新材料领域与传统技术对比，其运用范围广泛了，新材料产业研究与开发资金投入高，产品附加值高在制造与市场全球性强，并且新材料半导体行业的前景好。

而新材料半导体行业在生产的过程当中采用清洁剂、显像剂、光刻技术、蚀刻液等有机溶剂，这种有机溶剂中含有大量有机化合物成份，在所有加工工艺加工制作过程中将会出现的部分有机溶液绝大多数根据蒸发变成废气排出，这一部分挥发的废气主要成份为具备挥发物的VOCs，下边讲解一下有关：新材料半导体行业的废气应该怎么处理。

新材料半导体行业的废气除开带有VOCs之外，还沾有HCl、氨、HF等危险污染物质，创清环境保护采用的是RTO蓄热式焚烧炉去处理半导体行业的废气：

工业生产废气中主要是带有硫化氢气体、碱性气体、有机化学废气和有害气体四种，本身所具有的融解特点，半导体材料工业生产气体尽管消耗量大，可是气体浓度值低。

RTO机器设备采用的是持续高温毁坏焚烧处理的废气整治技术性，提温电力能源一般是电和燃气，其持续高温需达到700度或是之上，尽管环境温度需达到700度以上，但其实耗费的电力能源并不多，机器运行期内的部分热量是可以回收利用再次运用的，减少卡路里消耗的前提下提升了废气分子的点燃化学反应速率。

创清环境保护半导体器件废气环保处理设备的清洁高效率可保持保持在99%之上。