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目前在各种集成电路的离子刻蚀加工工艺(溶剂、润滑剂、激光气体、低温制冷剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂)中会排放出含四氟化碳的工业废气，除了四氟化碳还有三氟化氮、六氟化硫等酸性废气，也是来源于电子产品生产时芯片用的刻蚀剂、清洗剂等领域。

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对工业车间产生的废气进行集中收集，废气净化设备可以根据废气成分采用不同的处理工艺来处理、回收、去除或者是减少排放尾气的有害成分以达到大气层的空气不被污染的情况，但是很多的企业对于净化处理设备具体可以处理哪些工艺的废气了解还不是很清楚，本文介绍关于工业废气净化设备可以处理哪些成分的工业废气?。

VOCs有机废气处理主要采用吸附法和燃烧法进行处理，酸碱废气可以采用水溶法的方法进行处理，主要采用洗涤塔废气处理设备，含有易燃易爆气体的采用燃烧塔，燃烧桶和风机，含粉尘的工业气体则可以采用布袋除尘器进行处理。

创清环保设备有限公司是一家专业从事工业粉尘治理及废气治理技术的工程公司，是集环保技术研发、工程设计、技术设计、工程总承包、售后、运营服务于一体的高新环保企业。

半导体芯片加工厂的工业废气主要包含了硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气、氨气、硫酸雾等的酸/碱废气以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷总烃等的有机废气，具有挥发性的VOCs以及酸碱废气主要来源于对芯片的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中产生的，这部分的废气浓度小且排放量大。

随着大气层的空气污染越来越严重，环保部门对于工业废气的排放标准也越来越严格，电子加工厂在加工生产的过程中将会排放出大量的酸碱废气，这些酸碱废气如被人类所吸收，则会造成人群慢性或急性中毒，下面了解关于电子工厂产生的酸碱废气怎么处理?。

接下来说一下废气处理设备的优势。

1.废气处理设备适用范围广;净化效率高,尤其适用于其它方法难以处理的多组分废气，如化工,医药等行业，电子能量高，几乎可以和所有的废气分子作用；运行费用低；反应快，设备启动，停止十分迅速，随用随开。

2、节能：使用寿命长,节能高效比传统技术节能50%以上。

3、废气处理设备方便先进：净化单元采用分体抽屉式结构,易于安装、维护、清洗特别方便，电源控制系统可自动调节电场强度，使净化设备在长期运行后仍保持较高的净化率。

4、高效灵活：高效捕集不同粒径的油雾粒子,净化效率高,从根本上解决了复杂的废气组成不能逐一净化的难题,净化单元可以灵活组合，根据不同的净化处理量及净化率要求，单元数量可作调整。

5、安全稳定：安全系统设计周密,检修门被打开,高压电源即自动切断；高压电源精心设计成环氧树脂严密封闭的单元体，使用安全可靠；采用了大型机所运用的闪络跟踪技术，可配备远程控制系统，大大提高运行运行的安全系数，电源控制系统具有过流过压自动保护装置，保证设备稳定运行。

因为每一个领域的加工厂所排放出来的工业废气其成分、排放量、废气性质的不同会影响设备的设计以及处理工艺，最后设备的价格都是不一样的，如不知道工业具体采用的废气处理设备可以到创清环保进行在线的工程师技术查问。

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其设备的主要由型钢焊接而成，其外表面覆盖蒙皮外加用的是保温材料的钢结构，微生物除臭设备采用的是通过生物法的途径专门培养在生物滤池内生物填料上的微生物膜，而培养出来的微生物膜是可以对废臭气分子进行除臭的生物废气处理技术。