马鞍山除尘器设备质量上乘
半导体芯片加工厂的工业废气主要包含了硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气、氨气、硫酸雾等的酸/碱废气以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷总烃等的有机废气,具有挥发性的VOCs以及酸碱废气主要来源于对芯片的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中产生的,这部分的废气浓度小且排放量大。
净化洗涤塔由洗涤塔本体、塔板、填充层、除雾层、循环水管路、再沸器、循环水箱、冷凝器等器件组成,工业废气在集中收集之后引入洗涤塔,洗涤塔的入口位置是可以根据工厂的具体情况设定的,净化洗涤塔在填料层及除雾层分别装有检修窗口,主要是为了方便于后续可观察设备运行状态以及填充层的填料结晶程度情况,设备在内部设有格栅支撑部,分格栅主要是为了分割为设备中的填料区,缓冲区,除雾区。
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半导体废气采用的是洗涤塔废气处理设备进行处理的,洗涤塔分为立式和卧式,这两者之间的区别就在于立式废气洗涤塔是气液两相逆流接触,而卧式废气洗涤塔是气液两相交叉流接触,洗涤塔废气处理设备主要由循环水箱、循环水管路、除雾层、填料层以及塔体组成,设备的工作流程大致为:酸/碱性废气收集→酸/碱式洗涤塔→离心风机→烟囱(达标排放)。
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布袋除尘器由箱体(包括袋室、净空气、多孔板、滤袋、滤袋笼架、检修门,箱体设计耐压为pa)、破碎机、振动筛、制砂机、输送机、出风系统(风机、风机配用电机)、喷吹系统(气包、喷吹管、脉冲阀、控制仪)等组成,且整个废气处理设备是密闭的。