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化工厂在加工生产期间会产生含有汞、乙炔、氯化氢、氯乙烯、氯气、二氧化硫、甲烷、尿素粉尘、一氧化碳等的工业废气，目前市场上对于含有氮氧化物的化工废气处理设备常常用固体吸附法、催化还原法、液体吸收法三种进行处理。

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生物除臭的工作原理：，生物除臭设备主要采用生物培养池里在培养生物滤池内需要用到的生物，在进行处理时生物会附在生物滤池内生物填料上，这时候的生物就会于废臭气分子发生反应进行异味处理，如需要处理的工业废气是含有固态、液体以及气态三种混合的有害恶臭的废气，则需先进行集中收集导入废气处理设备中，然后在通过高效的微生物菌株来净化和降解废气中的污染物。

废气设备运行原理：但工业废气进入喷淋塔体时，塔体内部会设有喷出液态介质(碱液或者是硫酸溶液)，接触后的工业废气或者油污就会被水珠包裹，包裹污染物的水珠再次碰撞表面积增大且重力增大，最后在重力的作用下沉入塔体底部，反之较轻的污染物则浮于循环水体表。

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制药厂的工业废气主要成分是含有有机废气、氨类、甲硫醇类、硫化氢、酸碱等，因此不同成分的制药车间采用的废气处理设备是不一样的，如含有有机废气的车间优先选择采用活性炭吸附装置处理、含有硫化氢、氨类、甲硫醇类等恶臭物质的车间优先选择采用喷淋塔装置、含有臭气气体的车间优先选择采用RTO蓄热式焚烧炉设备。

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因工厂的大小以及工业的性质，不同的企业每天的废气排放量是不一样的，这也是导致最后选购的废气处理设备价格不同的因素之一，废气除臭的方法大致分为化学法、物理法、生物法三种，主要有吸收法、吸附法、中和法、燃烧法、氧化法以及生物法等来使恶臭气体的本身的物质结构发生改变，达到消除恶臭的目的。

半导体芯片加工厂的工业废气主要包含了硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气、氨气、硫酸雾等的酸/碱废气以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷总烃等的有机废气，具有挥发性的VOCs以及酸碱废气主要来源于对芯片的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中产生的，这部分的废气浓度小且排放量大。

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目前在我国主要采用于静电除尘和袋式除尘，而袋式除尘的相对于静电式的在减排方有更大的优势，当这些恶臭成分被微生物吸附至微生物体内进入微生物细胞中，废气中的有机物在各种细胞内酶的催化作用下会被氧化分解，然后生成新的微生物细胞后降解为简单的H2O，CO2等稳定的无机物。